
碳化硅發(fā)展歷史
2022-12-21
碳化硅是由美國人艾奇遜在1891年電熔金剛石實驗時,在實驗室偶然發(fā)現(xiàn)的一種碳化物,當時誤認為是金剛石的混合體,故取名金剛砂,1893年艾奇遜研究出來了工業(yè)冶煉碳化硅的方法,也就是大家常說的艾奇遜爐,一直沿用至今,以碳質(zhì)材料為爐芯體的電阻爐,通電加熱石英SiO2和碳的混合物生成碳化硅。
關(guān)于碳化硅的幾個事件:
1905年 第一次在隕石中發(fā)現(xiàn)碳化硅。
1907年 第一只碳化硅晶體發(fā)光二極管誕生。
1955年 理論和技術(shù)上重大突破,LELY提出生長高品質(zhì)碳化概念,從此將SiC作為重要的電子材料。
1958年 在波士頓召開第一次世界碳化硅會議進行學術(shù)交流。
1978年 六、七十年代碳化硅主要由前蘇聯(lián)進行研究。到1978年首次采用“LELY改進技術(shù)”的晶粒提純生長方法。
1987年~至今以CREE的研究成果建立碳化硅生產(chǎn)線,供應商開始提供商品化的碳化硅基。
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